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          真空計的分類及原理

          發布時間:2022-05-12    來源:本站

          真空計(Vacuum Gauge),又稱規,是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能,利用氣體動力學和利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和電熱偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。


          1、波爾登規(Bourdon)

          2、薄膜電容規

          3、皮拉尼規

          4、熱電偶規

          5、熱陰極電離規


          6、冷陰極電離規


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